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yh1122银河国际光电面向全球正式发布光束稳定系统(Beam Stabilization System)
发布时间:2016-03-10 点击次数:29
yh1122银河国际研发团队在过去一年时间内,在基于Nanomotor纳米位移控制技术的基础上,于2016年3月成功开发出闭环光束稳定系统,用于激光束的长时间空间位置和指向稳定。此光束稳定系统主要包括:1个HeNe激光器、2个PSD位置探测器、4个Nanomotor、1个智能控制器、2个SQM25、1个GM25以及若干不锈钢连接杆、套筒等组成闭环系统。该系统可抵消激光光束漂移,消除光束指向不稳定性,极大的改善整套系统精度。系统应用包括:测量、半导体晶圆检测曝光以及光束控制、还可应用于科研领域,如薄膜测量系统等。